SI-PDC030等離子清洗機
所屬分類：
等離子清洗機
關(guān)鍵詞： SI-PDC030等離子清洗機
產(chǎn)品描述
產(chǎn)品簡介
SI-PDF030 型系列等離子清洗機，是采高效率電子管作為末級輸出。 ARM 單片機做整機控制的新型離子清洗機。由于采用 ARM 單片機做整機控制，實現(xiàn)真空壓力檢測、定時控制和功率控制集成控制。可以廣泛的用于清洗各種基片材料和晶體上納米級的有機污染物。 在“HI”功率狀態(tài)下最大去除污染物的速度為 20nm/min。在做外延沉積之前對單晶襯底進行清洗能夠達到更好的沉積效果。并具有如下獨特功能：
● 三檔功率輸出，按鍵控制；
● 內(nèi)建定時器，可實現(xiàn)定時關(guān)機；
● 內(nèi)建真空壓力檢測。
● RF 輸出功率檢測， 無輸出報警
● 體積小重量輕。最大外形尺寸 400 x 300 x 300 全機僅 10.2kg；
技術(shù)指標
供電電源要求： AC220V / 50Hz（±10%） 最大電流 2A
輸出頻率： 3.0MHz（±1%）
輸出功率： 7.2、 10.2、 29.6W三檔
清洗腔：
內(nèi)部尺寸： Φ160 x 190mm
材質(zhì)： 高純度石英管
腔門： 可開關(guān)的密封法蘭門（帶充氣裝置）
真空系統(tǒng)：
真空泵： 2L 旋片式機械泵（選配）
真空泵接口： ?25
真空計： 1Pa~1x105Pa（內(nèi)置）
三通閥： 1/8 英寸
微調(diào)閥： 1/8 英寸
充氣接口： 卡套（ Φ6mm）
氣體種類： N2、 Ar、 O2 等非腐蝕性氣體， 嚴禁充入易燃易爆氣體
控制及其它：
顯示器： 一組四位LED數(shù)碼管
外形尺寸：主機 400 x 300 x 300mm ( 寬 x 高 x 深 )
重量： 主機 10.2kg （不含真空泵）
使用溫度： 0-40℃ (電源/顯示器)
濕度范圍： 5%-85%RH，不結(jié)露
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